上述優(yōu)點使科里奧利流量控制器也成為其他半導體制造工藝的有吸引力的選擇。例如，原子層沉積(ALD)同樣有需要精que控制液體前驅(qū)物的過程。
半導體制造的另一個關鍵過程是在將圓柱形晶錠采用機械刀片進行切割，切成一片一片的圓盤狀，便成了晶圓。切割后需對其進行清洗，一種新的晶圓清洗方法是使用超臨界CO2，它具有特殊的特性，可以有效清潔深溝槽和去除殘留物。超臨界CO2既不是液體也不是氣體，而科里奧利流量計非常適合這一工藝流程。
Alicat CODA系列科里奧利儀表抗干擾性強，對周邊的振動和干擾不敏感，這點更是為半導體先進過程控制的高要求提供了有力保障。
有趣的事實: CVD作為一種非常有效的材料表而改性方法，在很多領域得到應用，它提高了材料的使用壽命，節(jié)省了大量的材料，為社會帶來了顯著的經(jīng)濟效益。CVD涂層不僅用于半導體行業(yè)，例如，它也被用于制造薯片包裝袋，將鋁沉積在聚丙烯層上。巧合的是，Alicat科里奧利流量儀表對薯片的生產(chǎn)并不陌生，因為它也被用于調(diào)味工藝生產(chǎn)過程中。
Alicat艾里卡特CODA科里奧利系列有多種型號可供選擇，并且可提供定制服務，請即刻與我們聯(lián)系推薦適合您的CVD、ALD、超臨界CO2或其他工藝的流量計量和控制解決方案！
